Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 Н254

Нанотехнологии в микроэлектронике / С. П. Авдеев, В. И. Авилов, В. О. Агеев, [и др.], Южный федеральный ун-т, Ин-т нанотехнологий, электроники и приборостроения, Научно-образовательный центр "Нанотехнологии" ; ред. О. А. Агеев, Б. Г. Коноплев. – Москва : Наука, 2019. – 511 с. – Авторы указаны на обороте тит. л. – ISBN 978-5-02-040201-0.

621.38 Н254

Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.11
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и приборов микроэлектроники
ГАСНТИ 47.09.48
Электроника.Радиотехника : материалы : наноматериалы для электроники
Тезаурус = ГАСНТИ 29.19.22
Тезаурус = Физика : твердых тел : наноструктур, низкоразмерные, мезоскопические структуры

1105636 Кх
1105637 Кх