Электронный каталог

Книга
УДК 621.382 П37

Плазменная технология в производстве СБИС : пер. с англ. / ред. Н. Айнспрук, Д. Браун. – М. : Мир, 1987. – 469 с.

621.382 П37

Тезаурус = ГАСНТИ 47.14.07
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : проектирование и конструирование электронных приборов и радиоэлектронной аппаратуры : проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники

903036 Кх
903038 Кх