Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 Д182

Данилин, Б. С.
Магнетронные распылительные системы / Б. С. Данилин, В. К. Сырчин. – М. : Радио и связь, 1982. – 73 с.

621.38 Д182

Тезаурус = ГАСНТИ 47.13
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : технология получения тонких пленок
Тезаурус = ГАСНТИ 29.27.43
Тезаурус = Физика : плазмы : газовый, коронный, электрический разряд
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.33
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : электронно-ионно-плазменные технологии

801496 Кх
801498 Кх
804375 Кх