Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 Д182

Данилин, Б. С.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин ; отв. ред. З. Д. Андреенко. – Москва : Энергоатомиздат, 1989. – 327 с. – Загл. корешка: Применение плазмы для нанесения тонких пленок. – ISBN 5-283-03939-0.

621.38 Д182

Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.33
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : электронно-ионно-плазменные технологии
Тезаурус = ГАСНТИ 47.33.31
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : твердотельные приборы : интегральные микросхемы
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : технология получения тонких пленок

938945 Кх
939736 Кх
939738 Кх