Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 Г772

Гранкин, И. М.
Высокоразрешающая неорганическая фотолитография / И. М. Гранкин, А. В. Коломейко, В. П. Погребняк. – Киев : Вища школа, 1983. – 53 с. – (Ученые вузов - производству).

621.38 Г772

Тезаурус = ГАСНТИ 47.09.29
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : материалы : полупроводниковые
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.11
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и приборов микроэлектроники
Тезаурус = ГАСНТИ 47.33
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : твердотельные приборы

827740 Кх