Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Ерошкин, С. Ю. - Исследование влияния эффекта близости в электронно-лучевой литографии наноструктур на подложках и...
Ерошкин, С. Ю. - Исследование влияния эффекта близости в электронно-лучевой литографии наноструктур на подложках и...
Диссертация
Автор: Ерошкин, С. Ю.
Исследование влияния эффекта близости в электронно-лучевой литографии наноструктур на подложках и... : магистерская диссертация
2017 г.
ISBN отсутствует
Автор: Ерошкин, С. Ю.
Исследование влияния эффекта близости в электронно-лучевой литографии наноструктур на подложках и... : магистерская диссертация
2017 г.
ISBN отсутствует
Диссертация
Ерошкин, С. Ю.
Исследование влияния эффекта близости в электронно-лучевой литографии наноструктур на подложках из разных материалов : магистерская диссертация / С. Ю. Ерошкин, Нац. исслед. ун-т "МЭИ", Кафедра Электроники и наноэлектроники (ЭиН) . – М., 2017 . – 73 с. – URL: http://elib.mpei.ru/elib/view.php?id=9837 . - диссертация только в электронном виде, для чтения перейдите в электронную библиотеку МЭИ .
Ерошкин, С. Ю.
Исследование влияния эффекта близости в электронно-лучевой литографии наноструктур на подложках из разных материалов : магистерская диссертация / С. Ю. Ерошкин, Нац. исслед. ун-т "МЭИ", Кафедра Электроники и наноэлектроники (ЭиН) . – М., 2017 . – 73 с. – URL: http://elib.mpei.ru/elib/view.php?id=9837 . - диссертация только в электронном виде, для чтения перейдите в электронную библиотеку МЭИ .