Электронный каталог

Книга
УДК 621 Ф503

Физико-технолог. ин-т (ФТИАН)
Труды. Т.3. Моделирование технологических процессов микроэлектроники : Сб.статей / Физико-технолог. ин-т (ФТИАН) . – М. : Наука, 1992 . – 117 . - ISBN 5-02-006867-5 : 17.16 .

621 Ф503

Тезаурус = ГАСНТИ 29.01.13
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.11
Тезаурус = Физика : общие вопросы : съезды, конгрессы, конференции, симпозиумы, школы,семинары, выставки
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и приборов микроэлектроники

991762 Кх