Электронный каталог

Автореферат
А Ч-88

Чуканова, Т. С.
Структурная и структурно-химическая модификация физических свойств алмазоподобных кремний-углеродных пленок: 1.3.11 - Физика полупроводников : автореферат диссертации кандидата технических наук / Т. С. Чуканова, Нац. исслед. ун-т "МЭИ" (НИУ"МЭИ") . – Москва, 2023 . – 19 с. – URL: http://elib.mpei.ru/elib/view.php?id=12606 (дата обращения: 13.11.2023) .


Тезаурус = ГАСНТИ 29.19.16
Тезаурус = Физика : твердых тел : тонких пленок, поверхности и границы раздела
Тезаурус = ГАСНТИ 29.19.31
Тезаурус = Физика : твердых тел : полупроводники
Тезаурус = ГАСНТИ 29.19.22
Тезаурус = Физика : твердых тел : наноструктур, низкоразмерные, мезоскопические структуры

Кх - 2 экз.