Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 Х462

Химико-технологические основы микро-и наноэлектроники : учебное пособие / А. А. Величко, И. В. Гришина, А. Н. Игнатов, [и др.] ; ред. А. Н. Игнатов. – Москва; Вологда : Инфра-Инженерия, 2023. – 352 с. – Авторы указаны на обороте тит. л. – ISBN 978-5-9729-1316-9.

621.38 Х462

ГАСНТИ 47.13.07
Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.11
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и приборов микроэлектроники
Тезаурус = ГАСНТИ 47.09
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : материалы

1103863 Кх
1103864 Кх