Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 П781

Проблемы литографии в микроэлектронике. Том 8 : Труды ИОФАН / отв. ред. Т. М. Махвиладзе . – М. : Наука, 1987 . – 149 с.

621.38 П781

Тезаурус = ГАСНТИ 47.33
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : твердотельные приборы

903501 Кх
903503 Кх