Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 О-224

Оборудование полупроводникового производства / П. Н. Масленников, [и др.] ; ред. П. Н. Масленников . – М. : Радио и связь, 1981 . – 336 с.

621.38 О-224

Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.11
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и приборов микроэлектроники
Тезаурус = ГАСНТИ 47.14.07
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : проектирование и конструирование электронных приборов и радиоэлектронной аппаратуры : проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники

794041 Кх
796385 Кх