Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 М80

Моро, У.
Микролитография: принципы, методы, материалы. Часть 2 : пер. с англ. / У. Моро ; ред. Р. Х. Тимеров . – М. : Мир, 1990 . – 614-1239 с.

621.38 М80

Тезаурус = ГАСНТИ 47.33.29
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : твердотельные приборы : полупроводниковые приборы, диоды

970729 Кх
971808 Кх
972277 Кх