Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 К666

Корзо, В. Ф.
Диэлектрические пленки в микроэлектронике / В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев. – Москва : Энергия, 1977. – 367 с. – (Электронное материаловедение).

621.38 К666

Тезаурус = ГАСНТИ 47.09.31
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : материалы : диэлектрические
Тезаурус = ГАСНТИ 29.19.16
Тезаурус = Физика : твердых тел : тонких пленок, поверхности и границы раздела
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : технология получения тонких пленок

726853 Кх