Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 Г944

Гуляев, Ю. В.
Энергетические и конструктивные особенности установок СВЧ вакуумно-плазменного травления для создания устройств функциональной электроники с субмикронными размерами элементов / Ю. В. Гуляев, Р. К. Яфаров, АН СССР. Ин-т радиотехники и электроники . – препринт № 14 (489) . – Москва : ИРЭ АН СССР, 1988 . – 43 с.

621.38 Г944

Тезаурус = ГАСНТИ 47.13
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства

Кх - 1 экз.