Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 Г944

Гуляев, Ю. В.
Эффективность использования мощности в установках СВЧ вакуумно-плазменной обработки структур микроэлектроники / Ю. В. Гуляев, Р. К. Яфаров, АН СССР. Ин-т радиотехники и электроники . – препринт №15(516) . – Москва : ИРЭ АН СССР, 1989 . – 53 с.

621.38 Г944

Тезаурус = ГАСНТИ 29.27
Тезаурус = Физика : плазмы
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства

Кх - 1 экз.