Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 Д182

Данилин, Б. С.
Вакуумная техника в производстве интегральных схем / Б. С. Данилин ; общ. ред. Р. А. Нилендер. – Москва : Энергия, 1972. – 256 с.

621.38 Д182

Тезаурус = ГАСНТИ 47.13
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : технология получения тонких пленок
Тезаурус = ГАСНТИ 81.29
Тезаурус = Проблемы технических и прикладных наук и отраслей экономики : вакуумная техника
Тезаурус = ГАСНТИ 47.33.31
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : твердотельные приборы : интегральные микросхемы

650452 Кх
652264 Кх