Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 Д182

Данилин, Б. С.
Получение тонкопленочных элементов микросхем / Б. С. Данилин . – Москва : Энергия, 1977 . – 136 с. – (Б-ка технолога радиоэлектронной аппаратуры ; вып. 10) .

621.38 Д182

Тезаурус = ГАСНТИ 47.13
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : технология получения тонких пленок
Тезаурус = ГАСНТИ 47.33.31
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : твердотельные приборы : интегральные микросхемы

724721 Кх
724725 Кх