Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 А724

Антонов, В. А.
Технологические методы производства полупроводниковых структур : учебное пособие по курсу "Технология полупроводниковых приборов и интегральных схем" по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" / В. А. Антонов, Нац. исслед. ун-т "МЭИ" (НИУ"МЭИ") . – Москва : Изд-во МЭИ, 2022 . – 64 с. – URL: http://elib.mpei.ru/elib/view.php?id=12146 (дата обращения: 16.11.2022) . - ISBN 978-5-7046-2687-9 .

621.38 А724

Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.11
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и приборов микроэлектроники
Тезаурус = ГАСНТИ 47.09.29
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : материалы : полупроводниковые
Книгообеспеченность = Профессиональный цикл : Вариативная часть : Технология полупроводниковых приборов и интегральных схем - доп

Кх - 3 экз.
Учз - 1 экз.
Ук-14697 Уч.аб.
Уч.аб. - 48 экз.