Электронный каталог

Диссертация
Д С247

Свиркова, Н. Н.
Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбита кремния,получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления:01.04.10-Физика полупроводников и диэлектриков : Диссертация кандидата физико-математических наук / Н. Н. Свиркова, Моск. энерг. ин-т (МЭИ) . – 1996 . – 209 с. : Прил.: Автореферат .


Тезаурус = ГАСНТИ 29.19.31
Тезаурус = Физика : твердых тел : полупроводники

Д 7260 Кх