Электронный каталог

Книга
УДК 621.315 Ф503

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников / Б. Д. Луфт, [и др.] ; ред. Б. Д. Луфт . – М. : Радио и связь, 1982 . – 137 с.

621.315 Ф503

Тезаурус = ГАСНТИ 47.09.29
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : материалы : полупроводниковые
Тезаурус = ГАСНТИ 29.19.31
Тезаурус = Физика : твердых тел : полупроводники

807312 Кх