Электронный каталог

Книга

Физико-технолог. ин-т (ФТИАН)
Труды. Т.12: Исследование технологических процессов и приборов микроэлектроники : Сборник статей / Физико-технолог. ин-т (ФТИАН) ; Ред. В. А. Курчидис . – М. : Наука, 1997 . – 176 с. - ISBN 5-02-015107-6 : 7.00 .

621 Ф502

Тезаурус = ГАСНТИ 47.33
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.11
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : твердотельные приборы
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и приборов микроэлектроники

1009179 Кх