Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Галперин, В. А. - Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Галперин, В. А. - Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Книга
Автор: Галперин, В. А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов по направлению 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Серия: Нанотехнологии
Издательство: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018 г.
ISBN 978-5-9963-0032-7
Автор: Галперин, В. А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов по направлению 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Серия: Нанотехнологии
Издательство: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018 г.
ISBN 978-5-9963-0032-7
Книга
УДК 621.38 Г167
Галперин, В. А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов по направлению 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; ред. С. П. Тимошенков . – М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018 . – 283 с. – (Нанотехнологии) . - ISBN 978-5-9963-0032-7 .
621.38 Г167
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.33
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : электронно-ионно-плазменные технологии
Тезаурус = ГАСНТИ 29.27
Тезаурус = Физика : плазмы
1096006 Кх
УДК 621.38 Г167
Галперин, В. А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов по направлению 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; ред. С. П. Тимошенков . – М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018 . – 283 с. – (Нанотехнологии) . - ISBN 978-5-9963-0032-7 .
621.38 Г167
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.33
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : электронно-ионно-плазменные технологии
Тезаурус = ГАСНТИ 29.27
Тезаурус = Физика : плазмы
1096006 Кх