Электронный каталог

Диссертация
Д А732

Ануров, А. Е.
Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения: 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация кандидата технических наук / А. Е. Ануров, МАИ. Московский авиационный ин-т ( Нац. исслед. ун-т), АО "Российские космические системы". – М., 2018. – 148 с. – URL: http://elib.mpei.ru/elib/view.php?id=10240.


Тезаурус = ГАСНТИ 89.25
Тезаурус = Космические исследования : космическая техника и технология
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.11
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и приборов микроэлектроники
Тезаурус = ГАСНТИ 47.09
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : материалы
Тезаурус = ГАСНТИ 47.41.29
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : радиоэлектронные схемы : фильтры
Тезаурус = ГАСНТИ 47.33
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : твердотельные приборы : транзисторы
Тезаурус = ГАСНТИ 55.20
Тезаурус = Машиностроение : электрофизико-химическая обработка

Д 9185 Кх