Электронный каталог

Автореферат
А З-187

Закирова, Р. М.
Разработка метода модификации свойств ITO пленок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении; 01.04.01"Приборы и методы экспериментальной физики", 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат кандидата физико-математических наук / Р. М. Закирова, Удмуртский гос. ун-т . – Ижевск, 2013 . – 22 с.


Тезаурус = ГАСНТИ 55.20.15
Тезаурус = Машиностроение : электрофизико-химическая обработка : потоками энергии (лазерная, электронно-лучевая, ионнолучевая, плазменная и водоструйная обработка)
Тезаурус = ГАСНТИ 29.19.16
Тезаурус = Физика : твердых тел : тонких пленок, поверхности и границы раздела

Кх - 1 экз.