Электронный каталог

Автореферат
А К688

Корпухин, А. С.
Методы получения и характеристики полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе: 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат кандидата технических наук / А. С. Корпухин, Рос. корпорац. ракетно-космич. приборостороения и информацион. систем . – М., 2012 . – 20 с. – URL: http://elib.mpei.ru/elib/view.php?id=4280 .


Тезаурус = ГАСНТИ 47.33.37
Тезаурус = ГАСНТИ 45.53.99
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : твердотельные приборы : приборы микроэлектроники
Тезаурус = Электротехника : электротехническое оборудование специального назначения : прочие виды : электромеханические системы (ЭМС)

Кх - 1 экз.