Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 Г962

Гусев, В. В.
Плазменное технологическое оборудование микроэлектроники : учебное пособие по курсу "Вакуумное, плазмохимическое и элионное оборудование" / В. В. Гусев, В. И. Кузнецов, Б. Г. Виноградов, Моск. энерг. ин-т (МЭИ). – М. : Изд-во МИЭТ, 1988. – 103 с.

621.38 Г962

Тезаурус = ГАСНТИ 47.13
Тезаурус = ГАСНТИ 47.33.37
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : твердотельные приборы : приборы микроэлектроники
Книгообеспеченность = Профессиональный цикл : Вариативная часть : Лучевые и плазменные технологии в электронике - доп

928991 Учз
928992 Учз
928987 Кх
928988 Кх
928989 Кх