Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 Б249

Барил, М. А.
Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем / М. А. Барил, В. К. Самойликов . – М. : Энергия, 1978 . – 112 с. – (Б-ка технолога радиоэлектронной аппаратуры ; Вып.12) .

621.38 Б249

Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.11
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и приборов микроэлектроники
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства

Учз - 1 экз.
742180 Кх