Электронный каталог

Многотомник

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т : учебное пособие для вузов / Общ. ред. Ю. Н. Коркишко. – М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. – (Нанотехнологии). – ISBN 978-5-9963-0341-0.
Книга
УДК 621.38 В24

Т. 2 : Технологические аспекты / М. В. Акуленок, [и др.] ; Общ. ред. Ю. Н. Коркишко. – 2011. – 252 с. – ISBN 978-5-9963-0336-6.

621.38 В24

Тезаурус = ГАСНТИ 47.33.37
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.11
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и приборов микроэлектроники
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : твердотельные приборы : приборы микроэлектроники

1064441 Кх