Электронный каталог

Многотомник

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т : учебное пособие для вузов / Общ. ред. Ю. Н. Коркишко . – М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 . – (Нанотехнологии) . - ISBN 978-5-9963-0341-0 .
Книга
УДК 621.38 В24

Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова ; Общ. ред. Ю. Н. Коркишко . – 2010 . – 392 с. - ISBN 978-5-9963-0335-9 .

621.38 В24

Тезаурус = ГАСНТИ 47.33.37
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13.11
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : твердотельные приборы : приборы микроэлектроники
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и приборов микроэлектроники
Книгообеспеченность = Профессиональный цикл Б : Вариативная часть : Физико-химия наночастиц и наноматериалов - осн

1064440 Кх
1066634 Кх
1066635 Кх
1066636 Кх
1066637 Науч. чит. зал
1066638 Учз
1066639 Учз
Ук-12235 Уч.аб.
Уч.аб. - 47 экз.