Электронный каталог

Отчет
19928с

Исследование возможности создания комплекса методов анализа микро и наноразмерной элементной базы радиоэлектронной аппаратуры на основе использования просвечивающей электронной и сканирующей зондовой микроскопии. Ч.1. Заключительный отчет : НИР / Моск. энерг. ин-т (МЭИ ТУ), Кафедра полупроводниковой электроники (ППЭ) ; Рук. темы А. И. Попов . – 2009 . – 49 с. – URL: http://elib.mpei.ru/elib/view.php?id=85 .


Тезаурус = ГАСНТИ 29.19.22
Тезаурус = ГАСНТИ 47.33.37
Тезаурус = Физика : твердых тел : наноструктур, низкоразмерные, мезоскопические структуры
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : твердотельные приборы : приборы микроэлектроники

19928с Кх