Электронный каталог

Книга
УДК 54 М801

Морозова, Н. К.
Перераспределение фоновых примесей при термообработке монокристаллического Si(Ge). Лабораторная работа N 6 : методическое пособие по курсу "Физическая химия и технология материалов электронной техники" по направлению "Электроника и микроэлектроника" / Н. К. Морозова, Моск. энерг. ин-т (МЭИ ТУ) . – М. : Издательский дом МЭИ, 2009 . – 12 с. – URL: http://elib.mpei.ru/elib/view.php?id=1466 .

54 М801

Тезаурус = ГАСНТИ 47.09.29
Тезаурус = ГАСНТИ 31.15
Тезаурус = ГАСНТИ 31.15.25
Тезаурус = Электротехника : электротехнические материалы : полупроводниковые
Тезаурус = Химия : физическая
Тезаурус = Химия : физическая : химическая термодинамика, термохимия, равновесия, физико-химический анализ, фазовые переходы, химические реакции
Книгообеспеченность = Профессиональный цикл Б : Вариативная часть : Физическая химия материалов и процессов электронной техники - доп
Книгообеспеченность = МЕН : Вариативная часть : Физико-химические основы технологических процессов - доп

Кх - 3 экз.
Учз - 2 экз.
Уч.аб. - 15 экз.