Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 М545

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы / Г. С. Константинова , [и др.] . – Ростов-на-Дону : ТЕРРА-ПРИНТ, 2008 . – 114 с.

621.38 М545

Тезаурус = ГАСНТИ 47.14.07
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и приборов микроэлектроники

1058471 Кх