Электронный каталог

Отчет
19539с

Разработка технологии создания и исследование структурных и электрофизических свойств двух и трехслойных композиций из набора слоев: металл, металлсодержащая кремний-углеродная пленка, кремний-углеродная пленка, не содержащая металл. Ч.3. Заключительный отчет : НИР / Моск. энерг. ин-т (МЭИ ТУ), Кафедра полупроводниковой электроники (ППЭ) ; Рук. темы А. И. Попов . – 2006 . – 58 с.


Тезаурус = ГАСНТИ 47.13
Тезаурус = ГАСНТИ 53.49.19
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : технология получения тонких пленок
Тезаурус = Металлургия : металловедение : методика исследований металлов и сплавов, рентгенография

19539с Кх