Электронный каталог

Книга
УДК 621.38 С20

Сарач, О. Б.
Тонкие пленки : учебное пособие по курсу "Процессы микро- и нанотехнологий" по направлению "Электроника и микроэлектроника" / О. Б. Сарач, Моск. энерг. ин-т (МЭИ ТУ) . – М. : Изд-во МЭИ, 2006 . – 36 с. - ISBN 5-903072-33-X .

621.38 С20

Тезаурус = ГАСНТИ 29.19.16
Тезаурус = ГАСНТИ 47.13
Тезаурус = Физика : твердых тел : тонких пленок, поверхности и границы раздела
Тезаурус = Электроника.Радиотехника : технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства : технология получения тонких пленок
Книгообеспеченность = Профессиональный цикл Б : Базовая часть : Основы технологии электронной компонентной базы - осн
Книгообеспеченность = Профессиональный цикл Б : Базовая часть : Основы проектирования электронной компонентной базы - осн
Книгообеспеченность = Профессиональный цикл : Вариативная часть : Физика и технология тонких пленок - осн
Книгообеспеченность = Профессиональный цикл : Вариативная часть : Моделирование технологических процессов и компонентов электронной техники - осн

Кх - 5 экз.
Уч.аб. - 23 экз.
Учз - 1 экз.